有关sputtering的精选大全
CharacteristicsofHfO_xN_ythinfilmsbyrfreactivesputteringatdifferentdepositiontemperaturesEffectofTechnologicalparametersondepositionrateofZAOfilmspreparedbyDCmagnetronreactivesputteringInvestigationof...
Developmentofhigh-powerpulsemagnetronsputteringtechnologyTheapplicationofthin-filmsputteringtechnologyindownholeTOR&WOBmeasurement...
Thehighersputteringyieldwouldresultfrommultiplecollision,lateralsputteringandhighdensityenergydepositionofgasclusterionbeam.Thesputteringyieldperclusterionishigherthanthatformonomerionbyafactorofmoret...
1、DielectricbreakdownofBSTthinfilmspreparedbyRFsputteringisstudiedinthispaper.2、InfluenceofRFsputteringpoweranddopedhydrogenonthestructureofSi∶Hfilms...
1、ionsputteringcoater2、Withincreasingsputteringpressure,thetransmittanceincreases.3、PreparationofSiO_2ionbarrierfilmwithRFmagnetronsputtering4、N-dopedzincoxidethinfilmsbyrfmagnetronsputtering5、An...
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