光刻機是生產大規模集成電路的核心設備,光刻機的曝光波長越短,分辨率越高。“浸沒式光刻”是一種通過在光刻膠和投影...
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問題詳情:
光刻機是生產大規模集成電路的核心設備,光刻機的曝光波長越短,分辨率越高。“浸沒式光刻”是一種通過在光刻膠和投影物鏡之間加入浸沒液體,從而減小曝光波長、提高分辨率的技術。如圖所示,若浸沒液體的折*率為1.44,當不加液體時光刻膠的曝光波長為193nm,則加上液體時光刻膠的曝光波長變為( )
A.161 nm B.134 nm C.93nm D.65nm
【回答】
B
【解析】
加上液體時光刻膠的曝光波,光在液體中的傳播速度為,不加液體時聯立得
故B正確,ACD錯誤。
故選B。
知識點:光的折*
題型:選擇題